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【会议论文】高κTiO₂夹层的场内电镀β-Ga₂O₃ MIS二极管,可提高击穿和降低漏电电流

日期:2023-07-14阅读:238

        论文简介:来自美国空军研究实验室材料和制造局和加州大学圣芭芭拉分校的Nolan S. Hendricks、Andrew J. Green、Ahmad Islam、Kevin Leedy、Kyle Liddy、Jeremiah Williams、Esmat Farzana、James S. Speck和Kelson D. Chabak联合发表了一篇名为《Field plated β-Ga2O3 MIS diodes with high-κ TiO2 interlayer for increased breakdown and reduced leakage current》的论文文章。该文章介绍高κTiO2夹层的场内电镀β-Ga2O3 MIS二极管,可提高击穿和降低漏电电流。