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【器件论文】氧化学计量比对 NiOx/β-Ga₂O₃ 异质结二极管的影响

日期:2026-05-15阅读:31

        由美国北卡罗莱纳州立大学的研究团队在学术期刊 Journal of Applied Physics 发布了一篇名为Impact of oxygen stoichiometry in NiOx/β-Ga₂O₃ heterojunction diodes(氧化学计量比对 NiOx/β-Ga₂O₃ 异质结二极管的影响)的文章。

摘要

        本文针对 NiOx 中不同氧含量 x 的情况,从理论上研究了 NiOx/β-Ga₂O₃ 异质结的性质及其对器件性能的影响。除了镍氧摩尔比为 1:1 的化学计量比 NiO 外,还考察了两种非化学计量比情况(Ni₂O₃ 和 NiO₂),并将其与具有两种典型晶面取向(即 (001) 和 (010))的 β-Ga₂O₃ 相结合。第一性原理计算结果与现有实验数据吻合良好。结果表明,随着氧含量的增加,NiOx 的带隙从 ~3.9 eV(NiO)缩小至 ~1.5 eV(NiO₂)。更有趣的是,所得能带偏移揭示,由于能带边缘位移的不对称性,能带对齐从 II 型(NiO 和 Ni₂O₃)向 I 型(NiO₂)发生转变。这些特性导致 p–n 结击穿电压出现惊人的差异,高氧组分结构的击穿电压值显著降低。研究还发现,即使在非化学计量比的组分(Ni₂O₃ 和 NiO₂)中,所研究的异质结通常也不存在局域化界面态,且仅存在微小的电荷极化。这些结果强调,在设计和优化基于 NiOx/Ga₂O₃ 的高性能电子器件时,需要对异质界面(包括晶体取向)进行精确描述。

 

原文链接:

https://doi.org/10.1063/5.0319426