【器件论文】利用双纳米腔结无型 Ga₂O₃ FinFET 对乳腺癌细胞进行高灵敏度生物传感

        由印度阿姆里塔世界大学的研究团队在学术期刊 Microsystem Technologies 发布了一篇名为 High-sensitivity biosensing of breast cancer cells using a junction-less Ga₂O₃ FinFET with dual nanocavities（利用双纳米腔结无型 Ga₂O₃ FinFET 对乳腺癌细胞进行高灵敏度生物传感）的文章。

        这项研究报道了一种基于无结（Junction-Less）Ga₂O₃ FinFET 的生物传感器（栅长 14 nm），用于乳腺癌细胞系的电学检测。研究提出的器件在栅极金属下方的氧化层区域内设计了两个纳米空腔，以获得更高的灵敏度。研究中还进行了静电学分析，用于提取能带图、电场分布、沟道区域的横向电势，以及漏电流等参数。通过改变癌细胞系的介电常数值，可以检测到器件灵敏度的变化。灵敏度进一步通过漏电流（I_d）、开关比（I_on/I_off）、阈值电压（V_th）以及跨导（g_m）等指标进行了分析。漏电流与开关比的灵敏度还结合填充因子）进行了提取，并结合介电常数为 27.5 的 MCF7 细胞进行评估。最终结果表明，在所有所考虑的乳腺癌细胞系中，T47D 的介电常数最大，相应地在该细胞系下，所有电学参数与灵敏度的数值均表现出最高水平。