【外延论文】拉曼光谱是评估氧化镓（Ga₂O₃）薄膜结构质量和多态性的有效工具

摘要

        拉曼光谱是一种通用且无损的技术，被用于开发一种用于氧化镓 (Ga₂O₃) 相检测和识别的技术。该方法结合了实验结果和全面的文献调查。建立的拉曼方法为非破坏性评估 Ga₂O₃ 薄膜的相纯度和检测第二相提供了强大的工具。X 射线衍射用于比较，强调了这些技术可能为 Ga₂O₃ 表征提供的互补信息。包括了一些案例研究来证明所提出的光谱方法的实用性，即沉积条件，如金属有机气相外延和脉冲电子沉积（PED）和生长过程中提供的外部元素（PED 中的 Sn）对 Ga₂O₃ 多晶型的影响。总之，拉曼光谱提供了一种快速、可靠且无损的高分辨率方法来表征 Ga₂O₃ 薄膜，尤其是相检测和晶体质量。

原文链接：

https://doi.org/10.1177/00037028241267925