【器件论文】多晶 Ga₂O₃ 的各向异性光学特性和偏振敏感型日盲光电探测器

        由内蒙古大学的研究团队在学术期刊 Physica Scripta 发布了一篇名为 Anisotropic optical properties and polarization-sensitive solar-blind photodetector of polycrystalline Ga₂O₃（多晶 Ga₂O₃ 的各向异性光学特性和偏振敏感型日盲光电探测器）的文章。

摘要

        氧化镓（Ga₂O₃）作为典型的超宽禁带半导体之一，因其约 4.9 eV的禁带宽度和 280 nm 的吸收截止波长，已被广泛用于制造真正的日盲紫外光探测器。与某些其他多元素合金半导体相比，它在材料性质上具有天然优势。目前，关于基于 Ga₂O₃ 的光探测器的大多数报道都集中在对光波长和强度的检测上。然而，光载流子还具有第三个重要属性，即偏振态。在这项工作中，制备并分析了一种基于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）生长的多晶 Ga₂O₃ 薄膜的日盲深紫外光探测器，用于检测入射紫外光的波长、强度和偏振态。其暗电流低至 7.1×10^-13 A，响应度为 189 mA W^-1，比探测率为约 10¹³ Jones，外量子效率为 30%。该光探测器在检测光波长和光强度方面表现出良好的性能。此外，采用角度分辨偏振拉曼光谱（ARPRS）对制备的氧化镓薄膜的各向异性光学特性进行了分析。并且，详细测量并讨论了偏振态光探测，偏振二色性比约为 1.3，表明其具有各向异性光学探测的能力。

原文链接：

https://doi.org/10.1088/1402-4896/adf15b